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 Processing and characterization of N-polar GaN/AlGaN HFETs grown on 200 mm sapphire substrates 相关领域
材料科学
欧姆接触
光电子学
蓝宝石
化学气相沉积
外延
异质结
肖特基二极管
薄脆饼
表面粗糙度
宽禁带半导体
金属有机气相外延
晶体管
退火（玻璃）
表面光洁度
高电子迁移率晶体管
氮化镓
表征（材料科学）
泄漏（经济）
氮化物
电子迁移率
肖特基势垒
薄膜
沉积（地质）
场效应晶体管
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