Design, Modeling and Simulation of a Closed-Loop Controller for a Dual Backplate MEMS Capacitive Microphone

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标题	Design, Modeling and Simulation of a Closed-Loop Controller for a Dual Backplate MEMS Capacitive Microphone
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/4388307/4388308/04388342...
DOI	10.1109/icsens.2007.4388342 doi
其它	期刊：Italian National Conference on Sensors 作者：K. Kadirvel; D.T. Martin; Jian Liu; R. Fox; M. Sheplak; et al 出版日期：2007-12-17
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