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标题
Eliminating Nucleation Delay for Atomic Layer-Deposited Low-Defect Dense Multi-Component Thin Films through Preoccupation of Interstitial Sites
网址
DOI
10.1021/acsami.4c22420 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Guoping Su; Haoyan Chen; Honglong Ning; Xiao Fu; Muyun Li; et al
出版日期:2025-04-15
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