Actuating Performance of Non-Passivated Micro Heaters - 科研通

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标题	[高分] Actuating Performance of Non-Passivated Micro Heaters
网址	http://dx.doi.org/10.1115/imece2006-13505
DOI	10.1115/imece2006-13505 doi
其它	期刊：Microelectromechanical Systems 作者：Min Soo Kim; Yong Soo Lee; Bang Weon Lee; Dong Kee Sohn; Keon Kuk 出版日期：2006-01-01
求助人	replica 在 2026-06-27 17:17:15 发布自福建，悬赏 50 积分
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