| 标题 |
Chemical amplification in the design of dry developing resist materials 相关领域
抵抗
解聚
材料科学
聚合物
阳离子聚合
光引发剂
光解
单体
高分子化学
光刻
化学反应
光化学
纳米技术
化学工程
有机化学
化学
复合材料
图层(电子)
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Polymer Engineering and Science 作者:Hiroshi Itô; C. Grant Willson 出版日期:1983-12-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|