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标题
Investigating Root Cause of a Bubble Formation in Spin on Hardmask
调查硬掩模旋涂过程中气泡形成的根本原因
相关领域
放气 气泡 薄脆饼 材料科学 原材料 气泡 成核 纳米技术 复合材料 化学 机械 物理 有机化学
网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2018p0153
DOI
10.31399/asm.cp.istfa2018p0153 doi
其它 期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis
作者：Rebecca Dar; Jason Behnke; F.H. Baumann; T. Shepherd; Kok Hin Teo; et al
出版日期：2018-11-01
求助人
许乐 在 2025-12-30 10:55:58 发布自上海，悬赏 10 积分
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