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标题
Process and Characteristics of Cobalt Films Deposited by Thermal Atomic Layer Deposition and Silicide Film Formed
热原子层沉积钴薄膜的工艺和特性及硅化物薄膜的形成
相关领域
硅化物 钴 图层（电子） 材料科学 原子层沉积 沉积（地质） 冶金 过程（计算） 化学工程 热的 薄膜 纳米技术 热力学 地质学 计算机科学 物理 古生物学 沉积物 工程类 操作系统
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114457
DOI
10.1016/j.vacuum.2025.114457 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Shuai Yang; Gao Jian-feng; Jinjuan Xiang; Weibing Liu; Yanpeng Hu; et al
出版日期：2025-05-01
求助人
寂寞的迎天 在 2025-12-21 20:49:09 发布自天津，悬赏 10 积分
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