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标题
Optimizing Repetition Rate and Fluence for Improved Groove Depth in Femtosecond Laser Processing of Silicon
飞秒激光加工硅时重复率和注量的优化以提高槽深
相关领域
飞秒 通量 重复（修辞手法） 沟槽（工程） 硅 材料科学 光学 激光器 光电子学 物理 语言学 哲学 冶金
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.5345536
DOI
10.2139/ssrn.5345536 doi
其它 期刊：
作者：Siwei Zhang; Zhe Zhang; Yuhang Li; Shunshuo Cai; Kunpeng Zhang; et al
出版日期：2025-07-09
求助人
重要衬衫 在 2025-12-21 16:47:05 发布自北京，悬赏 10 积分
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