发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Change in Electrical/Mechanical Properties of Plasma Polymerized Low Dielectric Constant Films after Etching in CF4/O2 Plasma for Semiconductor Multilevel Interconnects
相关领域
材料科学 X射线光电子能谱 电介质 分析化学（期刊） 反应离子刻蚀 等离子体刻蚀 蚀刻（微加工） 傅里叶变换红外光谱 复合材料 光电子学 化学 光学 化学工程 图层（电子） 工程类 物理 色谱法
网址
https://www.mdpi.com/1996-1944/16/13/4663/pdf?version=168795...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/ma16134663 doi
其它 期刊：Materials
作者：Namwuk Baek; Yoon‐Soo Park; Hyuna Lim; Jihwan Cha; Taesoon Jang; et al
出版日期：2023-06-28
求助人
Owen 在 2026-01-11 19:56:01 发布自广东，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. On the constant composition and thickness of the chlorinated silicon surface layer subjected to incr...
  2. Mechanism of highly selective etching of SiCN by using NF3/Ar-based plasma
  3. Investigation of Si and Ge etching mechanisms in radiofrequency CF2-O2plasma based on surface reacti...
  4. Formation of polymeric layer during silicon etching in CF2Cl2 plasma
  5. Study of the Etching Processes of Si [1 0 0] Wafer Using Ultra Low Frequency Plasma
  6. Study of W/Ti triode plasma etching
  7. Investigation of ETCH Profiles in Etching of PZT and Pt Thin Films
  8. Analysis and Reduction of Impurity Contamination Induced by Plasma Etching on Si Surface
  9. A Study of Al2O3Thin Films Etching Characteristics Using Inductively Coupled BCl3/Ar Plasma
  10. Dry Etching of Al2O3Thin Film by Cl2/Ar Plasma
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 16小时前

    pluto pluto Lv1252 上传了文件

    待审核 materials-16-04663.pdf (2.91 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 17小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:56:06 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:56:02 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    19:56:01 已向机器人发送请求

  • 17小时前

    Owen Owen Lv11 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
求助人员发布了新的文献求助10
1秒前
拂袖完成签到，获得积分10
1秒前
科目三的应助被美好斓采纳，获得10
1秒前
研友_VZG7GZ的应助被超级的鞅采纳，获得10
1秒前
芝麻省理工大学高材生完成签到，获得积分10
1秒前
1秒前
浪子的应助被从容飞凤采纳，获得10
1秒前
上官若男的应助被jolyne采纳，获得10
3秒前
3秒前
Rui完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
盲目逛恋完成签到，获得积分10
5秒前
Grace发布了新的文献求助10
5秒前
超级的鞅完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
iedq完成签到 ，获得积分10
6秒前
echo完成签到，获得积分10
7秒前
细心健柏发布了新的文献求助20
7秒前
宣幻桃发布了新的文献求助50
7秒前
8秒前
cocopan发布了新的文献求助10
8秒前
大个的应助被终南成风采纳，获得10
9秒前
华仔的应助被派大星平底鞋采纳，获得10
10秒前
李健的应助被Qillim采纳，获得10
11秒前
科研通AI6的应助被从容飞凤采纳，获得10
11秒前
长孙中道完成签到，获得积分10
11秒前
甜美的艳血完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
Ning完成签到，获得积分10
12秒前
12秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
太少拿米完成签到，获得积分10
14秒前
Nancy发布了新的文献求助10
14秒前
ceeray23的应助被学渣中渣采纳，获得20
15秒前
大模型的应助被陈二坎采纳，获得10
17秒前
17秒前
王帅喜完成签到，获得积分10
18秒前
18秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Basic And Clinical Science Course 2025-2026 3000
Encyclopedia of Agriculture and Food Systems Third Edition 2000
人脑智能与人工智能 1000
花の香りの秘密―遺伝子情報から機能性まで 800
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, 3rd Edition 400
Pharmacology for Chemists: Drug Discovery in Context 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5608117
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4692671
关于积分的说明 14875371
捐赠科研通 4716727
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2544075
邀请新用户注册赠送积分活动 1509064
关于科研通互助平台的介绍 1472781
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通