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 Characterization of thin Al2O3/SiO2 dielectric stack for CMOS transistors 相关领域
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Yiyi Yan; Valeriya Kilchytska; Bin Wang; Sébastien Faniel; Yun Zeng; et al 出版日期：2022-01-06 |
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