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 Grid-Assisted Direct-Current Magnetron Sputtering of Titanium: Plasma Discharge Diagnostics 钛的栅极辅助直流磁控溅射：等离子体放电诊断
相关领域
钛
等离子体
材料科学
腔磁控管
溅射沉积
高功率脉冲磁控溅射
直流电
溅射
电流（流体）
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工程类
核物理学
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期刊：Fusion Science & Technology 作者：L. R. Sohngen; G. V. Taylor; Alexander A. Baker; Man Shing Wong; S. O. Kucheyev 出版日期：2025-05-08 |
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