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标题
Grid-Assisted Direct-Current Magnetron Sputtering of Titanium: Plasma Discharge Diagnostics
钛的栅极辅助直流磁控溅射：等离子体放电诊断
相关领域
钛 等离子体 材料科学 腔磁控管 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 直流电 溅射 电流（流体） 光电子学 冶金 电气工程 纳米技术 物理 电压 薄膜 工程类 核物理学
网址
https://doi.org/10.1080/15361055.2025.2486882
DOI
10.1080/15361055.2025.2486882 doi
其它 期刊：Fusion Science & Technology
作者：L. R. Sohngen; G. V. Taylor; Alexander A. Baker; Man Shing Wong; S. O. Kucheyev
出版日期：2025-05-08
求助人
Dellamoffy 在 2025-12-24 20:01:28 发布自中国，悬赏 30 积分
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  • 8小时前

    Dellamoffy Dellamoffy Lv6 求助人 发起了本次求助

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