Fabrication of nanoscale gratings with reduced line edge roughness using nanoimprint lithography

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标题	Fabrication of nanoscale gratings with reduced line edge roughness using nanoimprint lithography
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/21/5/2089/8206418/2...
DOI	10.1116/1.1609471 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Zhaoning Yu; Lei Chen; Wei Wu; Haixiong Ge; Stephen Y. Chou 出版日期：2003-10-03
求助人	小花在 2026-01-27 20:22:56 发布自陕西，悬赏 10 积分
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