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标题
Effects of Electrochemical Mechanical Polishing on the Polishing Efficiency and Quality of Co with H2O2 and BTA under Alkaline Conditions
相关领域
抛光 材料科学 化学机械平面化 X射线光电子能谱 电化学 表面粗糙度 表面光洁度 化学工程 吸附 互连 冶金 复合材料 电极 化学 计算机科学 计算机网络 有机化学 工程类 物理化学
网址
DOI
10.1149/2162-8777/ac3058 doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:Fangjin Xie; Min Zhong; Wenhu Xu
出版日期:2021-10-01
求助人
prozac 在 2025-11-22 19:05:03 发布自宁夏,悬赏 10 积分
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