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 Measurement of the mechanical properties of electroplated gold thin films using micromachined beam structures 利用微机械梁结构测量电镀金薄膜的力学性能
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Chang‐Wook Baek; Yong-Kweon Kim; Yoomin Ahn; Yong-Hyup Kim 出版日期：2004-04-02 |
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