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 A white-light interferometry method for 3D measurement of compactly spaced micro-nano structural units 紧凑间距微纳结构单元三维测量的白光干涉法
相关领域
微电子
白光干涉法
干涉测量
航空航天
材料科学
纳米结构
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纳米-
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航空航天工程
复合材料
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