Bottom angle control mechanism and optimization of slanted gratings for optical applications

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标题	Bottom angle control mechanism and optimization of slanted gratings for optical applications 光学用倾斜光栅的底角控制机理及优化相关领域蚀刻（微加工）材料科学制作光学产量（工程）反应离子刻蚀衍射光电子学过程（计算）衍射光栅栅栏纳米技术计算机科学复合材料物理操作系统病理医学替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003221
DOI	10.1116/6.0003221 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Jiuru Gao; Chanjuan Liu; Zhiwei He; Shuo Dong; Kaidong Xu; et al 出版日期：2024-01-16
求助人	卜恸卜恸在 2025-09-27 14:02:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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