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 Plasma FIB DualBeam Delayering for Atomic Force NanoProbing of 14 nm FinFET Devices in an SRAM Array SRAM阵列中14 nm FinFET器件原子力纳米探测的等离子体FIB双束分层
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期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：Roger Alvis; Trevan Landin; Chad Rue; Peter Carleson; O.Yu. Sidorov; et al 出版日期：2015-11-01 |
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