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![]() 非均匀电场下C面Al2O3衬底磁控溅射ZnO外延膜缺陷结构的比较X射线衍射
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期刊:Crystallography Reports 作者:Yu. A. Volkovsky; V. A. Zhernova; M. S. Folomeshkin; П. А. Просеков; А. Э. Муслимов; et al 出版日期:2023-04-01 |
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