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标题
PEALD沉积Al2O3薄膜的中高频形貌演化规律
相关领域
计算机科学
网址
https://doi.org/10.3788/aos250600
DOI
10.3788/aos250600 doi
其它 期刊：Acta Optica Sinica
作者：王利波 Wang Libo; 夏菁菁 Xia Jingjing; 陆斯文 Lu Siwen; 钮信尚 Niu Xinshang; 汲小川 Ji Xiaochuan; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
2333 在 2025-11-03 08:53:55 发布自江苏，悬赏 10 积分
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