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PEALD沉积Al2O3薄膜的中高频形貌演化规律

计算机科学

作者

王利波 Wang Libo,夏菁菁 Xia Jingjing,陆斯文 Lu Siwen,钮信尚 Niu Xinshang,汲小川 Ji Xiaochuan,焦宏飞 Jiao Hongfei,张锦龙 Zhang Jinlong,王占山 Wang Zhanshan,辛子华 Xin Zihua

出处

期刊：Guangxue xuebao [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2025-01-01 卷期号：45 (11): 1131001-1131001

标识

DOI：10.3788/aos250600

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