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 Low contact-resistivity and high-uniformity Ni/Au ohmic contacts on Si nanomembranes grafted to Si substrates via low-temperature rapid thermal annealing 低温快速热退火接枝Si衬底的Si纳米膜上的低接触电阻率和高均匀性Ni/Au欧姆接触
相关领域
欧姆接触
材料科学
电阻率和电导率
退火（玻璃）
异质结
光电子学
接触电阻
半导体
阳极
电极
纳米技术
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电气工程
化学
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jisoo Kim; Jiarui Gong; Wei Lin; Shalini Lal; Xin Su; et al 出版日期：2022-07-30 |
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