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标题
A comparison of electron, proton and helium ion irradiation for the optimization of the CoolMOS/spl trade/ body diode
电子、质子和氦离子辐照优化CoolMOS/spl贸易/体二极管的比较
相关领域
辐照 二极管 材料科学 光电子学 氦 退火（玻璃） 离子 电子 原子物理学 电子束处理 电气工程 化学 物理 工程类 核物理学 复合材料 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/ispsd.2002.1016213
DOI
10.1109/ispsd.2002.1016213 doi
其它 期刊：
作者：M. Schmitt; Hans-Joachim Schulze; A. Schlogl; A. Vosseburger; A. Willmeroth; et al
出版日期：2003-06-25
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