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 Titanium Nitride Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten in FEOL FEOL中钨选择性去除氮化钛硬掩模
相关领域
材料科学
氮化钛
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期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Hsing Chen Wu; Sheng Hung Tu; Min Yang; Emanuel I. Cooper 出版日期：2016-09-01 |
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