Polarity and Microstructure of Sputter-Deposited AlN Films on Mo Electrodes

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标题	Polarity and Microstructure of Sputter-Deposited AlN Films on Mo Electrodes
网址	http://dx.doi.org/10.3938/jkps.68.585
DOI	10.3938/jkps.68.585 doi
求助人	akun 在 2025-10-19 16:42:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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