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 Deposition-power-modulated optical and electrical properties of sputtering-derived HfTiOx gate dielectrics 溅射衍生HfTiOx栅电介质的沉积-功率调制光学和电学性质
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Peng Jin; Gang He; M. Liu; D.Q. Xiao; Juan Gao; et al 出版日期：2015-07-11 |
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