Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile-Based Gas Flow Sensor With Integrated Pressure–Temperature Sensing on a Non-SOI (111) Silicon Wafer

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标题	Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile-Based Gas Flow Sensor With Integrated Pressure–Temperature Sensing on a Non-SOI (111) Silicon Wafer
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2026.3662661
DOI	10.1109/ted.2026.3662661 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Jie Li; Ke Sun; Fang Song; Haifei Bao; Jiachou Wang; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	冷酷成威在 2026-08-26 10:27:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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