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 High rate growth of microcrystalline silicon using a high-pressure depletion method with VHF plasma 相关领域
硅烷
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期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Makoto Fukawa; Susumu Suzuki; Lihui Guo; Michio Kondo; Akihisa Matsuda 出版日期：2002-07-25 |
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