Patterning performance of perfluoroalkyl substances (PFAS) free EUV chemically amplified resists: a step towards environmentally friendly lithographic chemicals

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标题	Patterning performance of perfluoroalkyl substances (PFAS) free EUV chemically amplified resists: a step towards environmentally friendly lithographic chemicals
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3052050
DOI	10.1117/12.3052050 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLII 作者：Danilo De Simone; Emily E. Gallagher 出版日期：2025-04-22
求助人	TianBa123 在 2026-08-20 16:07:02 发布自广东，悬赏 20 积分
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