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标题
Atomic layer deposition of HZO ferroelectric films beyond the upper thickness limit via tetragonal-phase nucleation engineering
网址
https://doi.org/10.1063/5.0305962
DOI
10.1063/5.0305962 doi
其它 期刊：Applied Physics Reviews
作者：Binjian Zeng; Xikang Li; Kang Zhou; Qijun Yang; Changfan Ju; et al
出版日期：2026
求助人
xcx 在 2026-05-28 17:51:20 发布自河北，悬赏 10 积分
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