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 Transmission Metalens with Fixed-Gap Nanopillars for Immersion Lithography Patterning on 12-inch Glass Wafer 用于12英寸玻璃晶片浸没光刻图案化的具有固定间隙纳米柱的透射金属透镜
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期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics 作者：Yuan Hsing Fu; Nanxi Li; Qize Zhong; Yuan Dong; Ting Hu; et al 出版日期：2020-01-01 |
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