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标题
Transmission Metalens with Fixed-Gap Nanopillars for Immersion Lithography Patterning on 12-inch Glass Wafer
用于12英寸玻璃晶片浸没光刻图案化的具有固定间隙纳米柱的透射金属透镜
相关领域
纳米柱 浸没式光刻 光刻 薄脆饼 材料科学 平版印刷术 制作 光电子学 下一代光刻 纳米技术 计算光刻 光掩模 沉浸式（数学） 多重图案 电子束光刻 抵抗 纳米结构 纯数学 数学 病理 图层（电子） 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.1364/cleo_si.2020.sf2r.7
DOI
10.1364/cleo_si.2020.sf2r.7 doi
其它 期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics
作者：Yuan Hsing Fu; Nanxi Li; Qize Zhong; Yuan Dong; Ting Hu; et al
出版日期：2020-01-01
求助人
carrym 在 2025-12-04 10:21:31 发布自保加利亚，悬赏 10 积分
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