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 Effects of nitrogen doping in amorphous carbon layers on the diffusion of fluorine atoms: A first-principles study 非晶碳层氮掺杂对氟原子扩散影响的第一性原理研究
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Hwanyeol Park; Sung‐Woo Lee; Ho Jun Kim; Daekwang Woo; Se Jun Park; et al 出版日期：2019-04-15 |
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