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标题
Diamond ICP-DRIE etching technology with PECVD SiO 2 as mask
以PECVD SiO2为掩模的金刚石ICP-DRIE刻蚀技术
相关领域
钻石 等离子体增强化学气相沉积 材料科学 反应离子刻蚀 蚀刻(微加工) 化学气相沉积 体积流量 光电子学 扫描电子显微镜 轮廓仪 分析化学(期刊) 感应耦合等离子体 燃烧室压力 缓冲氧化物腐蚀 图层(电子) 各向同性腐蚀 干法蚀刻 微晶 选择性 沉积(地质) 等离子体刻蚀 人造金刚石 纳米技术 聚晶金刚石 透射电子显微镜
网址
DOI
10.1088/1361-6439/ae1483 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Rui Tang; Zhang Jin-wen; Jianyu Du; Wei Wang
出版日期:2025-10-17
求助人
Zhoey 在 2025-12-25 14:07:28 发布自浙江,悬赏 10 积分
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