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Phase evolution and morphology in Cu-In-Ga sputtered precursors
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DOI
10.1116/6.0001712 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者:Isaac K. Lam; Kyeongchan Moon; Sina Soltanmohammad; Gregory M. Hanket; Woo Kyoung Kim; et al
出版日期:2022-03-09
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