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 Investigation of thermophoretic protection with speed-controlled particles at 100, 50, and 25mTorr 100、50和25mTorr速度控制粒子热泳保护的研究
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Jung Hyeun Kim; H. Fißan; Christof Asbach; Se‐Jin Yook; David Y.H. Pui; et al 出版日期：2006-04-21 |
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