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 Instantaneous generation of many flaked particles caused by micro-arc discharge and detection method using load impedance monitoring system — Yuji Kasashima 微弧放电引起的许多片状颗粒的瞬时生成及利用负载阻抗监测系统的检测方法-笠岛佑司
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期刊：International Symposium on Semiconductor Manufacturing 作者：Taisei Motomura; Fumihiko Uesugi 出版日期：2015-11-16 |
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