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 On density distribution of Ti atom and ion ground states near the target in HiPIMS discharge using cavity ring-down spectroscopy and laser induced fluorescence 利用腔衰荡光谱和激光诱导荧光研究HiPIMS放电中靶附近Ti原子和离子基态的密度分布
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Andrea Dagmar Pajdarová; Tomáš Kozák; Jiří Čapek; T. Tölg 出版日期：2022-05-01 |
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