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标题
Quantum Mechanical Connection of Schottky Emission Process and Its implications on Breakdown Methodology and Conduction Modeling for BEOL Low-k Dielectrics
肖特基发射过程的量子力学连接及其对BEOL低k电介质击穿方法和导电模型的影响
相关领域
电介质 肖特基势垒 肖特基二极管 材料科学 光电子学 可靠性(半导体) 肖特基效应 凝聚态物理 电气工程 电子工程 物理 工程类 量子力学 二极管 功率(物理)
网址
DOI
10.1109/irps48227.2022.9764501 doi
其它 期刊:2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
作者:Ernest Y. Wu; Baozhen Li
出版日期:2022-03-01
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