Spontaneous etching of B2O3 by HF gas studied using infrared spectroscopy, mass spectrometry, and density functional theory

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标题	Spontaneous etching of B2O3 by HF gas studied using infrared spectroscopy, mass spectrometry, and density functional theory
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001542
DOI	10.1116/6.0001542 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Austin M. Cano; Suresh Kondati Natarajan; Jonathan L. Partridge; Simon D. Elliott; Steven M. George 出版日期：2022-01-11
求助人	Atlantis 在 2026-10-30 14:29:27 发布自上海，悬赏 10 积分
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