Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution

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标题	Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution
网址	http://dx.doi.org/10.3897/j.moem.7.2.65572
DOI	10.3897/j.moem.7.2.65572 doi
其它	期刊：Modern Electronic Materials 作者：Vladimir N. Jarkin; Oleg A. Kisarin; Tatyana V. Kritskaya 出版日期：2021-06-30
求助人	poki 在 2026-10-13 18:51:12 发布自浙江，悬赏 10 积分
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