SiC and Si Quantum Dots Co-Precipitated Si-Rich SiC Film with n- and p-Type Dopants Grown by Hydrogen-Free PECVD

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标题	SiC and Si Quantum Dots Co-Precipitated Si-Rich SiC Film with n- and p-Type Dopants Grown by Hydrogen-Free PECVD
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2.002309jss
DOI	10.1149/2.002309jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Hung-Yu Tai; Chiao-Ti Lee; Lin-Hsuan Tsai; Yung-Hsiang Lin; Yi-Hao Pai; et al 出版日期：2013-01-01
求助人	纯真毛豆在 2026-11-03 17:41:27 发布自天津，悬赏 10 积分
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