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 The effect of film thickness on the dissolution rate and hydrogen bonding behavior of photoresist polymer thin films 膜厚对光刻胶聚合物薄膜溶解速率和氢键行为的影响
相关领域
溶解
材料科学
光刻胶
聚合物
氢键
傅里叶变换红外光谱
薄膜
复合材料
化学工程
纳米技术
分子
有机化学
化学
图层（电子）
工程类
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期刊：Proceedings of SPIE 作者：Lovejeet Singh; Peter J. Ludovice; Clifford L. Henderson 出版日期：2005-05-04 |
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