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Effect of the N-doping concentration on the formation of the wide carrot defect in 4H-SiC homoepitaxial layer grown by trichlorosilane (TCS) as silicon precursor N掺杂浓度对以三氯氢硅(TCS)为硅前驱体生长的4H-SiC同质外延层中宽胡萝卜缺陷形成的影响
相关领域
三氯氢硅
材料科学
兴奋剂
图层(电子)
硅
碳化硅
光电子学
化学工程
纳米技术
复合材料
工程类
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| 其它 |
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Ning Gu; Junwei Yang; Huaping Song 出版日期:2024-09-30 |
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