Suppression of stacking faults expansion by backside proton implantation into SiC substrates

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标题	Suppression of stacking faults expansion by backside proton implantation into SiC substrates
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.110262
DOI	10.1016/j.mssp.2025.110262 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Tong Li; Hitoshi Sakane; Shunta Harada; Masashi Kato 出版日期：2026
求助人	顺心的骁在 2026-02-02 16:43:27 发布自重庆，悬赏 10 积分
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