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 Density Multiplication and Improved Lithography by Directed Block Copolymer Assembly 定向嵌段共聚物组装的密度倍增和改进光刻技术
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期刊：Science 作者：Ricardo Ruiz; Huiman Kang; François Detcheverry; Elizabeth A. Dobisz; Dan Kercher; et al 出版日期：2008-08-15 |
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