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标题
Toward Controllable Wet Etching of Monocrystalline Silicon: Roles of Mechanically Driven Defects
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DOI
10.1021/acsami.2c04299 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Lei Wu; Licong Cui; Wang He; Jian Guo; Bingjun Yu; et al
出版日期:2022-06-16
求助人
zhao 在 2026-08-24 11:01:58 发布自上海,悬赏 10 积分
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