Comprehensive Analysis of Oxidant Effects During ALD Process of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Thin Films

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标题	Comprehensive Analysis of Oxidant Effects During ALD Process of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Thin Films
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11040154/11040167/110406...
DOI	10.1109/edtm61175.2025.11040660 doi
其它	期刊：IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference 作者：Xiaopeng Li; Yilin Hou; Xiaoyu Dou; Yaoyu He; Yuwei Qu; et al 出版日期：2025-03-09
求助人	雨天在 2026-09-03 00:32:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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