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标题
Line-edge-roughness transfer during plasma etching: modeling approaches and comparison with experimental results
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.3268365
DOI
10.1117/1.3268365 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
作者：Vassilios Constantoudis
出版日期：2009-10-01
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cyyan 在 2026-09-10 14:22:23 发布自上海，悬赏 20 积分
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