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 High-purity and very low oxygen content MgF2 thin films by newly designed plasma-enhanced atomic layer deposition 相关领域
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Zhi-Xuan Zhang; Xiao Lin; Jing Zhang; Wen-Xuan Zhu; Peng Gao; et al 出版日期：2026-06-24 |
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