A Stress-Insensitive Arrayed Capacitive MEMS Accelerometer

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标题	A Stress-Insensitive Arrayed Capacitive MEMS Accelerometer
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442472...
DOI	10.1016/j.sna.2026.118117 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Jiacheng Li; Fu Wang; Rui Feng; Xiaoyi Wang; Ming Zhou; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	且行丶且努力在 2026-09-19 12:28:22 发布自新疆，悬赏 10 积分
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