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 Chemical kinetic equations for describing the process of atomic layer deposition with analytical solution 相关领域
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期刊：Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 作者：V.S. Polomskikh; А. А. Дудин; G. A. Rudakov 出版日期：2025-06-11 |
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(2025-6-4)
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